特許
J-GLOBAL ID：200903002311393896
磁気ディスク基板の研磨方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-354776
公開番号（公開出願番号）：特開平11-185248
出願日： 1997年12月24日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：
【要約】【課題】 特に平滑性が高く、かつ遊離砥粒の食い込みも少ない磁気ディスク基板を得るための研磨方法を提供する。【解決手段】 磁気ディスク基板を回転させながらテープを磁気ディスク基板の表面に押圧して研磨する磁気ディスク基板の研磨方法において、多結晶ダイヤモンドを含む研磨スラリーを用いると共に、研磨痕の交差角が1度以上15度以下となる条件で研磨する磁気ディスク基板の研磨方法。
請求項（抜粋）：
磁気ディスク基板を回転させながらテープを磁気ディスク基板の表面に押圧して研磨する磁気ディスク基板の研磨方法において、多結晶ダイヤモンドを含む研磨スラリーを用いると共に、研磨痕の交差角が1度以上15度以下となる条件で研磨する磁気ディスク基板の研磨方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G11B 5/84 A
, B24B 21/00 B
