特許

J-GLOBAL ID：200903002313294216

搬送装置

発明者： 白岩 裕嗣
出願人/特許権者： 東京エレクトロン東北株式会社
代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-152808
公開番号（公開出願番号）：特開平5-319513
出願日： 1992年05月20日
公開日（公表日）： 1993年12月03日
要約：

【要約】【目的】 搬送手段の進退自在な保持アームを回転させて熱処理部のウエハボートやカセット室内のカセットとの間でウエハの搬送を行う場合に、簡単な構成の搬送手段にして正確な搬送を行うこと。【構成】 搬送室1内に、進退自在な保持アーム23を備えた搬送基台21とこの搬送基台21を保持アーム23の進退方向と直交する方向に移動させる移動機構6とこの移動機構6を点aを中心として回転させる回転基台24とからなる搬送手段2を設け、この搬送手段2により周囲のカセット室3A、3Bや熱処理4A、4Bなどとの間でウエハの搬送を行うようにする。例えばウエハボート5の間口の向きが搬送手段2の回転中心aの方向からずれていても保持アーム23を移動機構6により横に移動することで、ウエハの受け渡しを正確に行うことができる。

請求項（抜粋）：

直線に沿って進退自在でかつ回転自在な保持部材を備えた搬送手段により、保持部材の回転方向に沿って配置された複数の被処理体収納部の間で被処理体の搬送を行う搬送装置において、前記保持部材を進退方向と交差する方向に移動させる移動機構を設けたことを特徴とする搬送装置。

IPC (2件)：

B65G 1/04 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-293222
  
• 特開昭58-196982
  
• 特開平3-293231
  
• 特開平3-048439