特許

J-GLOBAL ID：200903002314089330

電子顕微鏡の試料支持装置およびその方法

発明者： 浮穴 基英 ,  阿部 秀樹
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-270922
公開番号（公開出願番号）：特開2000-100365
出願日： 1998年09月25日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】予定の姿勢で繰り返し保持することの困難な試料を、試料を損傷させることなく試料台に挟持できるようにする。【解決手段】極細の針状試料16Aを一端に有する棒状の試料保持具16は、針状試料16Aの先端がX軸と電子線光軸との交点になるよう試料台14に弾性的に挟持されている。針状試料16Aは試料保持具16の一端に溶接されている。試料台14は回転体7と電気的絶縁が保たれ、かつX軸と同心で回転可能なようになっている。

請求項（抜粋）：

予定の姿勢で挟持することの困難な極薄ないしは極細試料を予定の姿勢で挟持する形状の試料保持具の一端で一体化して観察する電子顕微鏡の試料支持装置において、前記試料を電子線光軸と実質的に直交する第1の中心軸の周りで回転可能な第1の回転体の先端に第1の中心軸と平行な位置から略平行移動で挿入して保持したことを特徴とする電子顕微鏡の試料支持装置。

FI (2件)：

H01J 37/20 C ,  H01J 37/20 E

Fターム (4件)：

5C001AA01 ,  5C001AA05 ,  5C001BB01 ,  5C001CC03