特許
J-GLOBAL ID：200903002325676807
インピーダンス整合器の出力電圧測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 英俊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-167446
公開番号（公開出願番号）：特開平6-011528
出願日： 1992年06月25日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：
【要約】【目的】高周波電源と負荷との間に設けるインピーダンス整合器の出力電圧を、コンデンサ分圧回路を用いずに測定する。【構成】インピーダンス整合器2の入力側に設定した測定点で高周波電流及び高周波電圧と、電流及び電圧の位相差とを検出する。検出した電流、電圧及び位相差を入力インピーダンス演算手段8に与えて測定点より負荷側を見た入力インピーダンスを演算する。回路定数と入力インピーダンスとを負荷回路側インピーダンス演算手段10に与えて、インピーダンス整合器の出力端より負荷を見た負荷回路側インピーダンスを演算する。整合器出力電圧演算手段11により、測定点の電圧と入力インピーダンスと整合器の回路定数と負荷回路側インピーダンスとを出力電圧演算手段11に与えて、整合器の出力電圧を演算する。
請求項（抜粋）：
高周波電源と負荷との間に挿入されたインピーダンス整合器の出力電圧を測定する出力電圧測定装置において、前記インピーダンス整合器の入力側の回路の任意の点に設定した測定点での高周波電流の絶対値を検出する入力電流検出手段と、前記測定点での高周波電圧の絶対値を検出する入力電圧検出手段と、前記測定点での高周波電流と高周波電圧との位相差を検出する位相差検出手段と、前記測定点での高周波電流の絶対値と高周波電圧の絶対値と前記位相差とから、前記測定点より負荷側を見たインピーダンスを入力インピーダンスとして演算する入力インピーダンス演算手段と、前記測定点からインピーダンス整合器の出力端までの回路の回路定数と前記入力インピーダンスとから、前記インピーダンス整合器の出力端より負荷側の回路を見たインピーダンスを負荷回路側インピーダンスとして演算する負荷回路側インピーダンス演算手段と、前記入力インピーダンスと負荷回路側インピーダンスと前記回路定数と前記測定点で検出された高周波電圧の絶対値とから前記インピーダンス整合器の出力電圧を演算する出力電圧演算手段とを備えてなるインピーダンス整合器の出力電圧測定装置。
IPC (2件)：
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