特許

J-GLOBAL ID：200903002328406320

スリットノズルの洗浄装置

発明者： 沓沢 潤司 ,  島井 太 ,  福島 偉仁 ,  山口 和伸
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社
代理人 (1件)： 小山 有 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-100117
公開番号（公開出願番号）：特開2000-288488
出願日： 1999年04月07日
公開日（公表日）： 2000年10月17日
要約：

【要約】【課題】 吐出口の数を少なくしても洗浄効果の高いスリットノズル洗浄装置を提供する。【解決手段】 洗浄部6には長手方向に沿った両側にノズルNに向かって開口する洗浄液の吐出口7...が開口している。この吐出口7は後端が前記洗浄液供給源5につながるとともに、先端の吐出角度(噴出方向角度)は、ノズルに対する直交方向に対して角度を有している。この実施例にあっては、65°〜75°にしている。

請求項（抜粋）：

所定幅の塗布液吐出口が開口したスリットノズルを洗浄する装置であって、この装置はスリットノズルを載置した状態で実質的な密閉空間を形成する洗浄部を備え、この洗浄部内にはノズル先端に対向するように洗浄液の吐出口が長手方向に沿って多数形成され、更に各ノズルの洗浄液の噴出方向はノズルに対する直交方向に対して角度を有することを特徴とするスリットノズルの洗浄装置。

IPC (4件)：

B08B 3/02 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/304 643 ,  G03F 7/30 501

FI (4件)：

B08B 3/02 A ,  H01L 21/304 643 Z ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/30 564 C

Fターム (15件)：

2H096AA00 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096CA12 ,  2H096CA20 ,  3B201AA46 ,  3B201AB01 ,  3B201BB23 ,  3B201BB92 ,  3B201CA01 ,  3B201CB01 ,  3B201CD11 ,  3B201CD33 ,  5F046JA02 ,  5F046JA27