特許

J-GLOBAL ID：200903002331050200

プローブ装置

発明者： 片野 靖彦
出願人/特許権者： カシオ計算機株式会社
代理人 (1件)： 杉村 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-115223
公開番号（公開出願番号）：特開平9-281140
出願日： 1996年04月15日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】 検査対象の接続電極の配列ピッチが変化しても、1台のプローブ装置で容易に対応することができるようにする。【解決手段】 圧電素子1の圧電体2には複数の貫通孔5が上下方向に貫通して設けられている。これらの貫通孔5内には棒状のプローブ11が挿通されている。プローブ11の所定の外周面には絶縁膜14が被覆されている。そして、圧電体2がその長手方向に伸びまたは縮むと、その伸び量または縮み量に応じて複数のプローブ11の配列ピッチが拡大または縮小することになる。この場合、圧電体2の伸縮及び伸縮量は圧電体2に印加する電界の方向及び印加電圧によって容易に制御することができる。

請求項（抜粋）：

所定の方向に伸縮可能な圧電体を有する圧電素子と、各埋設部を前記圧電体内に該圧電体の伸縮方向に間隔をおいて埋設され、かつ各接触部を前記圧電体から同一側に突出された複数のプローブとを具備することを特徴とするプローブ装置。

IPC (3件)：

G01R 1/06 ,  G01R 1/073 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 1/06 D ,  G01R 1/073 D ,  H01L 21/66 B