特許
J-GLOBAL ID：200903002331621801
塗布方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-318204
公開番号（公開出願番号）：特開2009-136831
出願日： 2007年12月10日
公開日（公表日）： 2009年06月25日
要約：
【課題】塗布槽からのオーバーフロー液を循環して塗布する方式で、円筒状又は円柱状基体の上に粗さ粒子を含む塗布液を安定に塗布する塗布方法の提供。【解決手段】円筒状又は円柱状基体の供給部と、塗布槽と、塗布液供給タンクと、前記塗布槽からオーバーフローした塗布液を、前記塗布槽へ循環する循環経路とを有する塗布部とを含む塗布装置を使用し、粗さ粒子を含有する塗布液を前記円筒状又は前記円柱状基体の上に粗さ粒子を含有する塗布液を塗布する塗布方法において、前記循環経路に前記粗さ粒子を含有する塗布液の物理化学特性検出手段と、前記物理化学特性検出手段の情報に従って前記粗さ粒子を含有する塗布液の物理化学特性を補正する補正手段とを有する塗布液制御手段を有し、前記塗布液制御手段により前記塗布液の基準粘度をηとした時、前記塗布液の粘度を0.90η<η<1.10ηの範囲で制御することを特徴とする塗布方法。【選択図】図6
請求項１：
円筒状又は円柱状基体の供給部と、塗布槽と、塗布液供給タンクと、前記塗布槽からオーバーフローした塗布液を、前記塗布液供給タンクを介して前記塗布槽へ循環する循環経路とを有する塗布部とを含む塗布装置を使用し、粗さ粒子を含有する塗布液を前記円筒状又は前記円柱状基体の上に粗さ粒子を含有する塗布液を塗布する塗布方法において、
前記循環経路に前記粗さ粒子を含有する塗布液の物理化学特性検出手段と、
前記物理化学特性検出手段の情報に従って前記粗さ粒子を含有する塗布液の物理化学特性を補正する補正手段とを有する塗布液制御手段を有し、
前記塗布液制御手段により前記塗布液の基準粘度をηとした時、前記塗布液の粘度を0.90η<η<1.10ηの範囲で制御することを特徴とする塗布方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B05D1/28
, G03G15/08 501C
2H077AA12
, 2H077AB03
, 2H077AB14
, 2H077AB21
, 2H077AD06
, 2H077AD13
, 2H077AD23
, 2H077EA14
, 2H077FA01
, 2H077FA12
, 2H077FA13
, 2H077FA16
, 2H077FA22
, 4D075AC21
, 4D075AC86
, 4D075AC88
, 4D075AC96
, 4D075DA10
, 4D075DC27
, 4D075EB52
, 4D075EB57
, 4D075EC53
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (1件)
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