特許
J-GLOBAL ID:200903002351191226
ペリクル収納ケース
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴木 郁男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-382693
公開番号(公開出願番号):特開2002-182374
出願日: 2000年12月15日
公開日(公表日): 2002年06月26日
要約:
【要約】【課題】 帯電特性に優れ、ペリクル膜に塵埃等の付着が防止されると共に、ガスバリヤー性及び低ガス発生性を有し、ペリクル膜の劣化を有効に防止し得るペリクル収納ケースを提供するにある。【解決手段】 ペリクルが装着される底蓋と、底蓋に着脱可能に取り付られる上蓋とから成るペリクル収納ケースにおいて、前記底蓋及び上蓋が不飽和ニトリル単量体の含有率が50重量%以上の高ニトリル系樹脂組成物から成ると共に、底蓋が0.1乃至2.0重量%のカーボンブラックを含有していることを特徴とするペリクル収納ケース。
請求項(抜粋):
ペリクルが装着される底蓋と、底蓋に着脱可能に取り付られる上蓋とから成るペリクル収納ケースにおいて、前記底蓋及び上蓋が不飽和ニトリル単量体の含有率が50重量%以上の高ニトリル系樹脂組成物から成ると共に、底蓋が0.1乃至2.0重量%のカーボンブラックを含有していることを特徴とするペリクル収納ケース。
IPC (4件):
G03F 1/14
, B65D 85/86
, C08K 3/04
, C08L 51/04
FI (5件):
G03F 1/14 M
, C08K 3/04
, C08L 51/04
, B65D 85/38 R
, B65D 85/38 S
Fターム (14件):
2H095BE00
, 3E096BA15
, 3E096BB03
, 3E096CB03
, 3E096DA17
, 3E096EA02X
, 3E096EA02Y
, 3E096FA07
, 3E096GA01
, 4J002BN141
, 4J002BN151
, 4J002CL082
, 4J002DA036
, 4J002GG01
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