特許

J-GLOBAL ID：200903002356499482

複屈折光学系

発明者： ベルナルドゥス ハー ウェー ヘンドリクス ,  コエン テー ハー エフ リーデンバウム ,  スジュルド スタリンガ ,  ステイン カイパー
出願人/特許権者： コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ
代理人 (4件)： 伊東 忠彦 ,  杉村 興作 ,  藤谷 史朗 ,  来間 清志
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-504528
公開番号（公開出願番号）：特表2007-530997
出願日： 2005年03月14日
公開日（公表日）： 2007年11月01日
要約：

本発明は、流体チャンバ1と複屈折部分とを具える光学系に関するものである。流体チャンバは、第1および第2の流体10、12を具え、これらの流体は異なる屈折率を有し、流体間の界面はメニスカス14を形成する。複屈折部分は、第1放射ビーム3bおよび第2放射ビーム3cの特性を変化させることができ、第1および第2の放射ビームは異なる偏光を有する。メニスカス構造の変更によって、第1放射ビームおよび第2放射ビームの特性変化が生じる。メニスカス構造の変化を、エレクトロウェッティングによって制御できる。

請求項（抜粋）：

流体チャンバを具える光学系であって、前記流体チャンバは第1流体を具え、前記光学系は第1放射ビームおよび第2放射ビームの特性を変更できる複屈折部分を具え、前記第1および第2の放射ビームが異なる偏光を有する光学系において、 前記流体チャンバは第2流体を含み、前記第1および第2の流体は異なる屈折率と、メニスカスを形成する前記流体間の界面とを有し、 前記メニスカスの構造における変化によって、前記第1放射ビームおよび前記第2放射ビームの特性における前記変化が生じるように、前記複屈折部分が配置されることを特徴とする光学系。

IPC (3件)：

G02B 26/08 ,  G02B 27/28 ,  G02B 3/14

FI (4件)：

G02B26/08 J ,  G02B26/08 H ,  G02B27/28 Z ,  G02B3/14

Fターム (12件)：

2H141MA13 ,  2H141MA26 ,  2H141MA28 ,  2H141MB41 ,  2H141MB43 ,  2H141MB51 ,  2H141MC06 ,  2H141MG06 ,  2H199AB05 ,  2H199AB12 ,  2H199AB37 ,  2H199AB45