特許
J-GLOBAL ID:200903002360398780
暗視野落射顕微鏡装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-346095
公開番号(公開出願番号):特開平10-186241
出願日: 1996年12月25日
公開日(公表日): 1998年07月14日
要約:
【要約】【課題】 パルスレーザ光源を光源として用い、操作性に優れ、極低ノイズ・高感度かつ短時間に試料の観察・解析をすることができる暗視野落射顕微鏡装置を提供する。【解決手段】 パルスレーザ光源10から出射されたパルス励起光Aは、光束分岐遅延素子20により2分岐されて互いに異なる遅延が与えられた光束A1およびA2として出射される。光束A1およびA2は、輪帯反射鏡30により反射され、輪帯形状のコンデンサレンズ40により試料50に集光照射される。試料50から発生して、コンデンサレンズ40と同軸に配された対物レンズ60に入力した蛍光Bは、輪帯反射鏡30の中央の開口を通過し、吸収フィルタ70を透過し、検出器80により検出される。
請求項1:
パルス光を出力するパルスレーザ光源と、前記パルス光を2以上の所定数の光束に分岐し、前記所定数の光束それぞれに互いに異なる遅延を与えて出力する光束分岐遅延手段と、前記光束分岐遅延手段から出力された前記所定数の光束それぞれを所定軸に略平行に伝搬させる照射光学系と、前記照射光学系を伝搬してきた前記所定数の光束を試料に集光照射する輪帯形状のコンデンサレンズと、前記所定軸を光軸として前記コンデンサレンズの内側に同軸に配され、前記試料への前記所定数の光束の照射に伴って前記試料から発生した信号光を集光する対物レンズと、前記対物レンズにより集光された前記信号光を検出する検出器と、を備えることを特徴とする暗視野落射顕微鏡装置。
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