特許

J-GLOBAL ID：200903002360511330

インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法

発明者： 臼井 隆寛 ,  井上 聡 ,  宮下 悟 ,  下田 達也
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-011724
公開番号（公開出願番号）：特開平10-202874
出願日： 1997年01月24日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：

【要約】【課題】 インクジェット基台の材質に制限がなく、さらに、ドットパターンの高密度化に対応できるインクジェットプリンタヘッド、及びその製造方法を提供する。【解決手段】 基板60上に分離層を介して振動板5と、圧電体薄膜4と、及び電極(3,5)を形成し、次いで、基板とインクジェット基台とを接着させ、さらに、分離層に照射光を照射して分離層において基板を振動板と、圧電体薄膜と、及び電極から分離し、これらの振動板等とインクジェット基台とを接合させる。

請求項（抜粋）：

インク圧力室を形成するインクジェット基台上に、前記インク圧力室のインクを加圧する振動板と、圧電体薄膜と、及びこの圧電体薄膜に対する電極を形成するインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、基板上に分離層を介して前記振動板と、前記圧電体薄膜と、及び前記電極を形成する工程と、前記基板と前記インクジェット基台とを接着させる工程と、前記分離層に照射光を照射してこの分離層において前記基板を前記振動板と、圧電体薄膜と、及び電極から分離し、これらの振動板等と前記インクジェット基台とを接合させる工程と、を備えるインクジェットプリンタヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

引用特許：

審査官引用 (1件)

• インクジェットヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-309869   出願人：富士通株式会社