特許

J-GLOBAL ID：200903002362149531

合焦装置、それを備えた観察装置及びその観察装置を備えた露光装置

発明者： 福井 達雄 ,  菅谷 綾子 ,  中川 正弘
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 宮川 貞二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-033283
公開番号（公開出願番号）：特開平10-223517
出願日： 1997年01月31日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 合焦用像の重なり合いを防ぎ合焦精度を上げる。【解決手段】 視野絞り13と、視野絞りを照明する光源11と、照明された視野絞りの像を被検面17上に結像する照明用結像光学系、被検面上に形成された視野絞りの像を所定の検出面V1に再結像する検出光学系と、所定の基準位置に対する前記被検面の整合状態を検出するために、検出面上に再結像された視野絞りの像を光電的に検出する合焦用検出器26とを備え、視野絞りは、所定の主開口S1と副開口S2、S3とを有し、検出光学系は、被検面上に形成された主開口の像からの光束を遮光すると共に、被検面上に形成された副開口の像からの光束を通過させるために、被検面と共役な位置又はその位置近傍に配置された遮光部材21と、被検面上に形成された副開口の像からの光束を複数に分割して、該分割された光束を合焦用検出器に導く光束分割部材23とを有する。

請求項（抜粋）：

視野絞りと;前記視野絞りを照明する光源と;前記光源により照明された前記視野絞りの像を被検面上に結像する照明用結像光学系と;前記被検面上に形成された前記視野絞りの像を所定の検出面に再結像する検出光学系と;所定の基準位置に対する前記被検面の整合状態を検出するために、前記検出面上に再結像された前記視野絞りの像を光電的に検出する合焦用検出器とを備え;前記視野絞りは、所定の主開口と副開口とを有し;前記検出光学系は、前記被検面上に形成された前記主開口の像からの光束を遮光すると共に、前記被検面上に形成された前記副開口の像からの光束を通過させるために、前記被検面と共役な位置又はその位置近傍に配置された遮光部材と;前記被検面上に形成された前記副開口の像からの光束を複数に分割して、該分割された光束を前記合焦用検出器に導く光束分割部材とを有する;合焦装置。

IPC (6件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/24 ,  G02B 7/34 ,  G02B 7/28 ,  G03B 13/36 ,  G03F 7/20 521

FI (8件)：

H01L 21/30 526 A ,  G01B 11/24 F ,  G03F 7/20 521 ,  G02B 7/11 C ,  G02B 7/11 J ,  G02B 7/11 M ,  G03B 3/00 A ,  H01L 21/30 525 R