特許
J-GLOBAL ID：200903002364830953
走査型電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土橋 皓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-084021
公開番号（公開出願番号）：特開平6-089686
出願日： 1992年04月06日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：
【要約】【目的】小型試料室と大型試料室の2つの試料室を備えた走査型電子顕微鏡において、小型試料室を大型試料室と同時に使用する場合においても、小型試料室の真空度をより高くして、分解能の高い観察を行うことを目的とする。【構成】前記小型試料室と前記大型試料室との間の隔壁にオリフィスを設けると共に、該小型試料室及び該大型試料室の夫々に、該小型試料室及び該大型試料室の真空度を上げる真空ポンプを設けるように構成する。
請求項１：
電子銃に近い側から、小型試料観察用の第1対物レンズ及び小型試料室と、大型試料観察用の第2対物レンズ及び大型試料室とを配置し、前記第1対物レンズの近傍に設けられた第1試料台と、前記第2対物レンズの近傍に設けられた第2試料台とを有する電子顕微鏡において、前記小型試料室と前記大型試料室との間の隔壁にオリフィスを設けると共に、該小型試料室及び該大型試料室の夫々に前記第1試料台及び第2試料台近傍の真空度を上げる真空ポンプを設けたことを特徴とする走査型電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/20
, H01J 37/18
, H01J 37/28
