特許
J-GLOBAL ID：200903002380085923
管内大気圧グロープラズマ反応方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平2-409460
公開番号（公開出願番号）：特開平5-202481
出願日： 1990年12月28日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：
【要約】【目的】 円筒管等の絶縁体管の内面や内部の静止、移動または流通物を大気圧下でプラズマ処理あるいは反応する。【構成】 外周部に一対のスパイラル状平行電極対を設けた絶縁体管の一端部から反応性ガスと希ガスとの混合ガスを導入し、大気圧下で管内部にグロー放電プラズマを発生させて、管内面、または管内部の静止、移動あるいは流通物を処理する。
請求項（抜粋）：
外周部に一対のスパイラル状平行電極対を設けた絶縁体管の一端部から反応性ガスと希ガスとの混合ガスを導入し、大気圧下で管内部にグロー放電プラズマを発生させて、管内面、または管内部の静止、移動あるいは流通物を処理することを特徴とする管内大気圧グロープラズマ反応方法。
IPC (3件)：
C23C 16/50
, C08F 2/52 MDY
, H05H 1/46
