特許
J-GLOBAL ID：200903002388426053
板状物搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-283623
公開番号（公開出願番号）：特開平5-102287
出願日： 1991年10月02日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：
【要約】【目的】 ウエハへの異物の付着を防止することができる構造簡単で小形の板状物搬送装置を提供する。【構成】 ウエハ1を保持するヘッド21、22を非接触形吸着装置24によって構成する。X方向に移動するX方向移動ブロック14にフレーム18をZ方向およびθ方向へ移動するように設備し、このフレーム18に第1ヘッド21および第2ヘッド22をY方向へ移動するように設備する。【効果】 搬送時にヘッド21、22がウエハ1に接触しない。このため、異物がウエハへ付着するのを防止することができる。X方向、Z方向およびθ方向についての駆動装置13、15、16を第1ヘッド21と第2ヘッド22との間で共用することができるため、ウエハ搬送装置10全体としての構造を簡単かつ小形化することができるとともに、作動の信頼性を高めることができる。
請求項（抜粋）：
X方向、Z方向およびθ方向に移動するフレームに、それぞれ独立してY方向に移動するアームが複数設備されているとともに、各アームに板状物を保持するヘッドがそれぞれ設備されており、各ヘッドは板状物に流体を吹き付け、あるいは、吸着面より流体を吸引することを併用して板状物との間に流れ層を形成するか、吸引圧力と吹き付け圧力のバランスをとることにより、板状物を保持するとともに、保持された板状物の側面に係合部が当接するように構成されていることを特徴とする板状物搬送装置。
IPC (2件)：
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