特許

J-GLOBAL ID：200903002389230993

石英部材製造用鋳型

発明者： 松本 強資
出願人/特許権者： 東洋炭素株式会社
代理人 (1件)： 梶 良之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-094161
公開番号（公開出願番号）：特開平11-292553
出願日： 1998年04月07日
公開日（公表日）： 1999年10月26日
要約：

【要約】【課題】 単結晶シリコンの製造に用いる石英ルツボなどの石英部材を製造するのに用いる鋳型に関して、石英部材に生じる気泡を少なくし、石英部材を製造する際の加熱によって割れることを防止するとともに、比較的構造が簡単なものとする。【解決手段】 石英ルツボ製造用鋳型10を炭素繊維強化炭素複合材料(C/C)によって構成した。この炭素繊維強化炭素複合材料の好ましい特性としては、ガス透過率が1cm2 /s以上、曲げ強度が50MPa以上、繊維軸方向における熱膨張係数が1×10-6/°C以下、かさ密度が1.2Mg/m3 以上である。

請求項（抜粋）：

炭素繊維強化炭素複合材料によって構成されてなることを特徴とする石英部材製造用鋳型。

IPC (3件)：

C03B 20/00 ,  B22C 1/00 ,  C04B 35/83

FI (3件)：

C03B 20/00 H ,  B22C 1/00 D ,  C04B 35/52 E