特許
J-GLOBAL ID：200903002391460670
ディスク搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-268872
公開番号（公開出願番号）：特開平10-121245
出願日： 1996年10月09日
公開日（公表日）： 1998年05月12日
要約：
【要約】【課題】 成膜加工前の被処理物のクリーン度を高められるようにしたディスク搬送装置を提供する。【解決手段】 真空の搬送室を内側に形成するハウジングフレームに対して軸受を介して回転テーブルを回転可能に嵌装し、この回転テーブルの中心軸線を貫通し回転および軸方向へ移動可能な駆動軸を設ける。この駆動軸の一方の軸端に連結板を結合し、この連結板の両端に一対の駆動シリンダ装置操作端を結合する。前記駆動軸の他端には、十字状の固定リンクを固着し、この固定リンクの自由端にそれぞれ揺動リンクをピン結合し、この揺動リンクの自由端を弁体の脚部分にピン結合する。弁体は、前記スライドガイドに沿って半径方向へ滑動可能であっ、て、ハウジングフレーム内を間欠回動する。
請求項（抜粋）：
真空の搬送室を内側に形成するハウジングフレームと、このハウジングフレームに対して軸受を介して回転可能に嵌装され、前面に直交する方向のスライドガイドを有する回転テーブルと、この回転テーブルの中心軸線を貫通して設けられ、回転および軸方向へ移動可能な駆動軸と、この駆動軸の一方の軸端に結合された連結板と、この連結板の両端に操作端が結合された一対の駆動シリンダ装置と、前記駆動軸の他端に固着された十字状の固定リンクと、この固定リンクの自由端にそれぞれピン結合された揺動リンクと、この揺動リンクの自由端に脚部分がピン結合され、前記スライドガイドに沿って半径方向へ滑動可能であって電磁石が内装された弁体と、前記駆動軸を間欠回動させ弁体を逐次移動させる間欠駆動装置とを備えてなるディスク搬送装置。
引用特許：
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