特許
J-GLOBAL ID:200903002392790282
反射防止膜及び光学部品
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
奈良 武
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-231044
公開番号(公開出願番号):特開2003-043202
出願日: 2001年07月31日
公開日(公表日): 2003年02月13日
要約:
【要約】【課題】 紫外域から可視域、赤外域にわたる広帯域で高い反射防止性能を有した反射防止膜とする。【解決手段】 基材側から数えて第1,8層に低屈折率材料を、第2,4,6層に中間屈折率材料を、第3,5,7層に高屈折率材料がそれぞれ成膜されており、前記各層の光学的膜厚ndが設計波長λに対して、第1層は(0.9〜2.4)×λ/4、第2層は(0.9〜1.2)×λ/4、第3層は(0.27〜0.50)×λ/4、第4層は(0.17〜0.27)×λ/4、第5層は(1.34〜2.14)×λ/4、第6層は(0.35〜0.45)×λ/4、第7層は(0.26〜0.38)×λ/4、第8層は(1.03〜1.13)×λ/4とする。
請求項(抜粋):
基材に設けられる反射防止膜であって、基材側から数えて第1,8層に低屈折率材料を、第2,4,6層に中間屈折率材料を、第3,5,7層に高屈折率材料がそれぞれ成膜されており、前記各層の光学的膜厚ndが設計波長λに対して、第1層は(0.9〜2.4)×λ/4、第2層は(0.9〜1.2)×λ/4、第3層は(0.27〜0.50)×λ/4、第4層は(0.17〜0.27)×λ/4、第5層は(1.34〜2.14)×λ/4、第6層は(0.35〜0.45)×λ/4、第7層は(0.26〜0.38)×λ/4、第8層は(1.03〜1.13)×λ/4としたことを特徴とする反射防止膜。
IPC (5件):
G02B 1/11
, B32B 7/02 103
, C03C 17/34
, C23C 14/06
, C23C 14/08
FI (5件):
B32B 7/02 103
, C03C 17/34 Z
, C23C 14/06 P
, C23C 14/08 N
, G02B 1/10 A
Fターム (51件):
2K009AA09
, 2K009CC03
, 2K009DD04
, 2K009DD07
, 4F100AA19D
, 4F100AA19E
, 4F100AA20
, 4F100AA21E
, 4F100AA27E
, 4F100AR00B
, 4F100AR00C
, 4F100AR00D
, 4F100AR00E
, 4F100AT00A
, 4F100BA05
, 4F100BA07
, 4F100BA08
, 4F100BA10A
, 4F100BA10E
, 4F100BA25
, 4F100EH66
, 4F100EH662
, 4F100GB90
, 4F100JD06
, 4F100JN06
, 4F100JN06B
, 4F100JN06C
, 4F100JN06D
, 4F100JN06E
, 4F100JN18B
, 4F100JN18C
, 4F100JN18D
, 4F100JN18E
, 4G059AA11
, 4G059AB11
, 4G059AC04
, 4G059EA01
, 4G059EA09
, 4G059EB02
, 4G059GA02
, 4G059GA04
, 4G059GA12
, 4K029AA09
, 4K029AA11
, 4K029BA43
, 4K029BA48
, 4K029BB02
, 4K029BC08
, 4K029BD00
, 4K029CA03
, 4K029DD02
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開昭60-130704
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特開昭60-032001
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特許第2711697号
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