特許

J-GLOBAL ID：200903002393490444

アクチュエ-タ

発明者： 武藤 清高 ,  上田 譲 ,  浅田 規裕
出願人/特許権者： 日本信号株式会社
代理人 (1件)： 笹島 富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-325611
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131685
出願日： 2000年10月25日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：

【要約】【課題】超小型半導体アクチュエータにおける可動部中央部の変形量を抑制することを目的とする。【解決手段】プレーナ型ガルバノミラー1のトーションバー4,4で軸支される回動可能な可動部3の中央部にミラー5を形成し、ミラー5周囲に駆動用のコイル6を巻回し、ミラー5とコイル6との間に、可動部端部における空気抵抗や慣性力等の影響による反り力やコイル6で発生する熱が可動部中央部に伝達するのを抑制する境界部10を設けて、可動部中央部での変形を抑制する。

請求項（抜粋）：

可動部と、該可動部を回動可能に軸支するトーションバーとを備え、前記可動部に駆動力を作用させて可動部を駆動する構成のアクチュエータにおいて、前記可動部中央部と少なくとも前記トーションバーに平行な可動部端部との間に、可動部端部から前記可動部中央部に伝達する可動部中央部の変形要因を抑制する境界部を設ける構成としたことを特徴とするアクチュエータ。

IPC (4件)：

G02B 26/10 104 ,  B41J 2/44 ,  B81B 3/00 ,  H04N 1/113

FI (4件)：

G02B 26/10 104 Z ,  B81B 3/00 ,  B41J 3/00 D ,  H04N 1/04 104 Z

Fターム (7件)：

2C362BA17 ,  2C362BA18 ,  2H045AB10 ,  2H045AB16 ,  2H045AB73 ,  5C072AA03 ,  5C072HA14

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 光偏向器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-034967   出願人：日本ビクター株式会社
• 特開平4-249212
  
• 反射板部材・反射面装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-298564   出願人：株式会社リコー
• 特開平4-249212
  
• 特開平4-249212