特許

J-GLOBAL ID：200903002394233879

真空ポンプ

発明者： 小島 善徳 ,  真武 幸三 ,  稲田 高典 ,  柳澤 清司
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所 ,  株式会社荏原電産
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-171562
公開番号（公開出願番号）：特開2002-364541
出願日： 2001年06月06日
公開日（公表日）： 2002年12月18日
要約：

【要約】【課題】 モータロータの発熱が極めて少なく、高温条件下でも安全に駆動することのできるモータを使用して、ポンプ運転の信頼性を向上させた真空ポンプを提供する。【解決手段】 吸気口3と排気口4を備え、対向して配置された一対のポンプロータ1を同期回転させてガスの吸入排気を行う真空ポンプにおいて、ポンプロータ1を駆動するモータは、ステータ13とモータロータ11とを備え、モータロータ11の鉄心12の内部に永久磁石17が配置された。

請求項（抜粋）：

吸気口と排気口を備え、対向して配置された一対のポンプロータを同期回転させてガスの吸入排気を行う真空ポンプにおいて、前記ポンプロータを駆動するモータは、ステータとモータロータとを備え、前記モータロータの鉄心の内部に永久磁石が配置された永久磁石型モータであることを特徴とする真空ポンプ。

IPC (15件)：

F04B 39/00 106 ,  F04B 37/16 ,  F04C 18/16 ,  F04C 18/18 ,  F04C 23/02 ,  F04C 25/02 ,  F04C 29/00 ,  H02K 1/14 ,  H02K 1/22 ,  H02K 1/27 501 ,  H02K 1/27 ,  H02K 7/14 ,  H02K 15/03 ,  H02K 21/16 ,  H02K 1/16

FI (15件)：

F04B 39/00 106 D ,  F04B 37/16 Z ,  F04C 18/16 A ,  F04C 18/18 A ,  F04C 23/02 B ,  F04C 25/02 K ,  F04C 29/00 T ,  H02K 1/14 Z ,  H02K 1/22 A ,  H02K 1/27 501 G ,  H02K 1/27 501 K ,  H02K 7/14 B ,  H02K 15/03 Z ,  H02K 21/16 M ,  H02K 1/16 C

Fターム (51件)：

3H003AA05 ,  3H003AB06 ,  3H003AC02 ,  3H003CE03 ,  3H003CF05 ,  3H003CF06 ,  3H029AA03 ,  3H029AA06 ,  3H029AA16 ,  3H029AB06 ,  3H029BB11 ,  3H029BB32 ,  3H029CC07 ,  3H029CC27 ,  3H029CC46 ,  3H076AA16 ,  3H076AA21 ,  3H076BB03 ,  3H076CC07 ,  5H002AA00 ,  5H002AA10 ,  5H002AC02 ,  5H002AC03 ,  5H002AC04 ,  5H607AA00 ,  5H607AA02 ,  5H607BB01 ,  5H607BB14 ,  5H607CC01 ,  5H607CC05 ,  5H607DD01 ,  5H607DD02 ,  5H607DD03 ,  5H607DD16 ,  5H607DD17 ,  5H607FF06 ,  5H607GG01 ,  5H607GG08 ,  5H621AA00 ,  5H621GA01 ,  5H621GA04 ,  5H621HH01 ,  5H621JK17 ,  5H621JK19 ,  5H622AA00 ,  5H622CA02 ,  5H622CA07 ,  5H622CB03 ,  5H622PP10 ,  5H622PP18 ,  5H622PP19

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 気体移送機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-222761   出願人：株式会社荏原製作所, 株式会社荏原電産