特許
J-GLOBAL ID:200903002396334567

酸化チタン膜の作製方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-190840
公開番号(公開出願番号):特開2000-344522
出願日: 1999年05月31日
公開日(公表日): 2000年12月12日
要約:
【要約】【課題】 低温焼成を可能とすることにより、基材への密着性や透明性に優れ、耐薬品性や耐熱性に劣る材料にも確実にコーティングできると共に、コストや設備の軽減を可能とした酸化チタン膜の作製方法を提供すること。【解決手段】 基材にペルオキソチタン溶液を吹き付ける第一工程と、該ペルオキソチタン溶液を乾燥させる第二工程と、乾燥後、基材を低温焼成する第三工程とからなる酸化チタン膜の作製方法。
請求項(抜粋):
基材にペルオキソチタン溶液を吹き付ける第一工程と、該ペルオキソチタン溶液を乾燥させる第二工程と、乾燥後、基材を低温焼成する第三工程とからなる酸化チタン膜の作製方法。
IPC (3件):
C01G 23/053 ,  B01J 35/02 ,  B65D 25/14
FI (3件):
C01G 23/053 ,  B01J 35/02 J ,  B65D 25/14 A
Fターム (33件):
3E062AA09 ,  3E062AA10 ,  3E062AB02 ,  3E062AB14 ,  3E062AC02 ,  3E062AC03 ,  3E062AC06 ,  3E062JA01 ,  3E062JB23 ,  3E062JC04 ,  3E062JD03 ,  4G047AA02 ,  4G047AB02 ,  4G047AC03 ,  4G047AD02 ,  4G069AA01 ,  4G069AA08 ,  4G069AA15 ,  4G069BA04A ,  4G069BA04B ,  4G069BA27A ,  4G069BA27B ,  4G069BA48A ,  4G069CA01 ,  4G069CA07 ,  4G069CA11 ,  4G069CA17 ,  4G069CD02 ,  4G069CD03 ,  4G069EA07 ,  4G069ED06 ,  4G069FB24 ,  4G069FB30

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