特許

J-GLOBAL ID：200903002401779351

ポジ型レジスト組成物

発明者： 上谷 保則 ,  富岡 淳 ,  中西 弘俊
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-346400
公開番号（公開出願番号）：特開平6-167805
出願日： 1992年12月25日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：

【要約】【目的】 解像度、プロファイル及び焦点深度等の諸性能のバランスに優れたポジ型レジスト組成物を提供する。【構成】 一般式【化1】〔式中、R1 は水素もしくはハロゲン等を表わし、R3 はアルキル又はフェニルを表わす。x は1〜3である。Q1 〜Q12は水素、アルキルもしくはフェニルである。Z1 〜Z5 は【化2】(式中、R2 は水素もしくはハロゲン等を表わし、R3 は前記と同じ意味を有する。y は1〜3であり、pは0〜1である)を表わす。〕で示されるフェノール化合物の中の少なくとも1種のキノンジアジドスルホン酸エステルを含むキノンジアジド系感光剤及びアルカリ可溶性樹脂を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。

請求項（抜粋）：

一般式【化1】〔式中、R1 は水素もしくはハロゲン原子、-OCOR3 或いは置換されていてもよいアルキルもしくはアルコキシ基を表わし、R3 は置換されていてもよいアルキルもしくはフェニル基を表わす。x は1〜3の整数を表わす。Q1 〜Q12は各々独立して水素原子、アルキルもしくはフェニル基を表わす。Z1 〜Z5 は各々独立して【化2】(式中、R2 は水素もしくはハロゲン原子、-OCOR3 或いは置換されていてもよいアルキルもしくはアルコキシ基を表わし、R3 は前記と同じ意味を有する。y は1〜3の整数を、pは0又は1を、各々表わす。)を表わす。〕で示されるフェノール化合物の中の少なくとも1種のキノンジアジドスルホン酸エステルを含むキノンジアジド系感光剤及びアルカリ可溶性樹脂を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。

IPC (2件)：

G03F 7/022 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平3-228057
  
• 特開平2-285351
  
• 特開昭61-218616
  
• 特表平3-502010
  
• 感光性化合物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-055880   出願人：ソニー株式会社