特許

J-GLOBAL ID：200903002409130001

高圧ジェット洗浄装置

発明者： 小溝 俊爾
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-275902
公開番号（公開出願番号）：特開平10-125645
出願日： 1996年10月18日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：

【要約】【課題】 ノズルから噴射される高圧水流の異常を検知することができる高圧ジェット洗浄装置を提供すること。【解決手段】 ノズル5の噴射口5a近傍に、高圧水流Jの存在を検知する第1センサ14として発光素子13a及び受光素子13bを配設し、さらに、高圧水流Jの径を検知する第2センサ11として複数の導電性の細棒11a、11a、・・・を隣接する細棒間に電圧を印加した状態で配設する。これら細棒11aの一端部はそれぞれ、径dで正常に噴射される高圧水流Jに近接して設けられているので、この径dより大きい径で噴射されたり噴射口5aにて分岐して噴射されたりする噴射異常をこの第2センサ11で検知することができる。さらに高圧水流が噴射されないという異常は第1センサ14により検知することができる。

請求項（抜粋）：

回転軸と、該回転軸の一端部に取り付けられた被洗浄体に対向して配設されるノズルとを備え、前記回転軸の回転により前記被洗浄体を回転させながら該被洗浄体の表面に前記ノズルから高圧水流をスポット状に噴射して前記被洗浄体を洗浄する高圧ジェット洗浄装置において、前記ノズルの噴射口近傍に、所定の位置での前記高圧水流の存在を検知する第1の検知手段、及び/又は、前記高圧水流の径を検知する第2の検知手段、を設けたことを特徴とする高圧ジェット洗浄装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 341 ,  B08B 3/02

FI (2件)：

H01L 21/304 341 N ,  B08B 3/02 B