特許
J-GLOBAL ID:200903002410153538

光学試料の厚さを測定する装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 谷 義一 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-246353
公開番号(公開出願番号):特開平11-160029
出願日: 1998年08月31日
公開日(公表日): 1999年06月18日
要約:
【要約】【課題】 定量顕微分光法により、光学試料の厚さを正確に測定する。【解決手段】 第1の光透過窓2の内面は第1の光学マーカをもち、第2の光透過窓3の内面は第2の光学マーカをもつ。試料容器1は光学顕微鏡8内に装填され、第1の光学マーカの1つが視野内で識別されてその位置が突き止められるまで移動され、さらに第1の光学マーカが正確に焦点合わせされるまで移動されてその第1の焦点合わせ位置が記録される。第2の光学マーカについても同様に行われる。次に、第1の焦点合わせ位置と第2の焦点合わせ位置との差が計算され、その試料の屈折率を考慮に入れて試料の厚さが決定される。
請求項(抜粋):
光学試料の吸光度測定時または他の分光測定時に光学試料の厚さを正確に測定する装置において、該装置は、試料を収容する手段であって、該手段は第1の光学マーカと第2の光学マーカをもつものと、試料を収容する前記手段を保持する手段と、試料を収容する前記手段内の試料を照明する手段と、試料を収容する前記手段内の第1の光学マーカと第2の光学マーカに自動的に焦点を合わせる手段と、前記光学試料についてパターン認識プロシージャを実行する手段であって、該手段はイメージ・プロセッサおよびコンピュータに接続されているイメージング・レシーバを含んでいるものとを備えている光学顕微鏡であることを特徴とする装置。
IPC (4件):
G01B 11/06 ,  G01B 9/04 ,  G01N 21/27 ,  G02B 21/00
FI (4件):
G01B 11/06 H ,  G01B 9/04 ,  G01N 21/27 E ,  G02B 21/00

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