特許
J-GLOBAL ID：200903002415713108
薄板基板の移送装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石井 暁夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-134289
公開番号（公開出願番号）：特開平8-008586
出願日： 1994年06月16日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】 作業テーブル12の上面における薄板基板1を、当該薄板基板1のうち割れたものを前記作業テーブルから除去しながら、搬送台15等に移送することを自動的に行う。【構成】 作業テーブル12の左右両側に、受取り移送体13,14を作業テーブルとその側方の搬送台15等との間を往復動するように配設し、一方の受取り移送体に二つのフィンガー13a,13bを、他方の受取り移送体に一つのフィンガー14aを設け、更に、前記両受取り移送体の間に、光を一方の受取り移送体側から他方の受取り移送体に向かって発射するようにした光式の割れ検出センサー16,17を設け、更に、前記作業テーブルの上方には、下面に多孔板19を張設して成る真空吸引ボックス18を、前記作業テーブルとその側方との間を往復動するように配設する。
請求項（抜粋）：
上面に薄板基板を載せた状態で上下動する作業テーブルの左右両側に、受取り移送体を、当該両受取り移送体が前記作業テーブルとその側方における搬送台等との間を往復動するように配設して成る移送装置において、前記両受取り移送体のうちいずれか一方の受取り移送体に、前記薄板基板に対する少なくとも二つのフィンガーを、他方の受取り移送体に、前記薄板基板に対する一つのフィンガーを各々設け、更に、前記両受取り移送体の間に、光を一方の受取り移送体側から他方の受取り移送体に向かって発射するようにした光式の割れ検出センサーを設ける一方、前記作業テーブルの上方には、下面に多孔板を張設して成る真空吸引ボックスを、当該真空吸引ボックスが前記作業テーブルとその側方との間を往復動するように配設したことを特徴とする薄板基板の移送装置。
IPC (6件)：
H05K 13/02
, B23P 21/00 305
, B65G 25/06
, B65G 49/07
, H01L 21/027
, H01L 21/68
