特許
J-GLOBAL ID:200903002416860031

レーザビームレコーダのステージ制御装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 村山 光威
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-314689
公開番号(公開出願番号):特開2003-123327
出願日: 2001年10月12日
公開日(公表日): 2003年04月25日
要約:
【要約】【課題】 レーザビームレコーダのステージの送りむらを小さくする。【解決手段】 ステージ106の位置を検出する位置検出器1から出力された信号を位置制御部2においてカウントして、そのカウント値と位置指令との偏差を求めた上、その偏差から速度指令を算出し、ステージ106の位置の偏差量が目標速度相当分以上になったときには、速度指令制限部6は速度指令を目標速度に制限することにより、速度指令を一定に保ち、ステージ106を一定の速度で移動させる。
請求項(抜粋):
ステージに搭載した記録レンズによって光ディスクの原盤の表面にレーザビームの焦点を結ばせると同時に、回転駆動系のターンテーブルによって前記原盤を回転させながら、前記ステージに設けたリニアモータによって前記ステージをステージガイドに沿って移動させることにより、原盤の表面に設けたフォトレジスト層を前記レーザビームで露光して、信号を書き込むレーザビームレコーダにおいて、前記ステージの位置を検出する位置検出器から出力された信号を位置制御部においてカウントして、そのカウント値と位置指令との偏差を求めた上、その偏差から速度指令を算出し、前記ステージの位置の偏差量が目標速度相当分以上になったときには、速度指令制限部は速度指令を目標速度に制限して、前記ステージを一定の速度で移動させることを特徴とするレーザビームレコーダのステージ制御装置。
Fターム (3件):
5D121BB01 ,  5D121BB21 ,  5D121BB38

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