特許
J-GLOBAL ID：200903002418116666
薄膜蒸着用反応容器及びそれを利用した薄膜蒸着方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
恩田 博宣
, 恩田 誠
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-514598
公開番号（公開出願番号）：特表2004-536224
出願日： 2002年07月16日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：
薄膜蒸着用反応容器及びそれを利用した薄膜蒸着方法を提供する。その反応容器はリアクターブロックと、ウェハブロックと、シャワーヘッドとを含む。第1反応ガス及び/または不活性ガスをウェハに供給する第1供給ライン121と、第2反応ガス及び/または不活性ガスをウェハに供給する第2供給ラインと、ウェハブロックとシャワーヘッド間にプラズマを形成するためのプラズマ形成部とを含む。シャワーヘッドは、第1供給ラインと連結される第1供給流路と、その底面に一定間隔で形成された多数の第1噴射ホールと、多数の第1噴射ホールと第1供給流路とを連結させながらシャワーヘッドの面に対して平行に形成された第1メーン流路と、第2供給ラインと連結される第2供給流路と、その底面に第1噴射ホールと一定間隔を維持して形成された多数の第2噴射ホールと、シャワーヘッドの面に対して第1メーン流路とは異なる高さにおいて平行に形成され、多数の第2噴射ホールと第2供給流路とを連結する第2メーン流路とを含む。
請求項（抜粋）：
ウェハ移送孔を通じて移送されたウェハを受承するリアクターブロックと、前記リアクターブロック内に設置され、前記ウェハが載置されるウェハブロックと、前記リアクターブロックを覆うように設けられるトッププレートと、前記トッププレートの底に結合されてガスをウェハに向けて噴射するシャワーヘッドと、前記リアクターブロック内部のガスを外部に排気させる排気部とを具備する薄膜蒸着用反応容器において、
第1反応ガス及び/または不活性ガスを前記ウェハに供給する第1供給ラインと、
第2反応ガス及び/または不活性ガスを前記ウェハに供給する第2供給ラインとを備え、
前記シャワーヘッドが、
前記第1供給ラインと連結される第1供給流路と、
当該シャワーヘッドの底面に一定間隔で形成された多数の第1噴射ホールと、
前記シャワーヘッドの面に対して平行に形成され、前記多数の第1噴射ホールと前記第1供給流路とを連結する第1メーン流路と、
前記第2供給ラインと連結される第2供給流路と、
当該シャワーヘッドの底面に前記第1噴射ホールと一定間隔を維持して形成された多数の第2噴射ホールと、
前記シャワーヘッドの面に対して前記第1メーン流路とは異なる高さにおいて平行に形成され、前記多数の第2噴射ホールと前記第2供給流路とを連結する第2メーン流路とを含むことを特徴とする薄膜蒸着用反応容器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (11件)：
4K030BB12
, 4K030CA04
, 4K030CA12
, 4K030EA05
, 4K030EA06
, 4K030FA01
, 4K030FA10
, 4K030HA01
, 4K030KA14
, 4K030KA47
, 4K030LA15
