形状測定装置および段差測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-197535
公開番号（公開出願番号）：特開平9-042938
出願日： 1995年08月02日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：

【要約】【課題】簡単でかつ安価な構成でサブミクロン以下の形状測定が可能となる形状測定装置および簡単かつ安価な構成で段差及び距離の測定が同時に行え測定のスピードアップが可能となる段差測定装置を提供することにある。【課題解決手段】特定波長のみを透過する干渉フィルタ30から出射した光を光源とするノマルスキー光学系(コンデンサレンズ21、偏光板22、ノマルスキープリズム24、対物レンズ4 )、互いに90度ずつ位相のずれた3つ以上の干渉信号を生成する検出光学系(PH36,38,53、PD37,39,54)と、この検出光学系の出力から干渉強度中の直流成分を除去して干渉縞の位相変化量をカウントする計数手段40とからなっている。

請求項（抜粋）：

試料を載せたステージを走査することにより、前記試料の形状を測定する形状測定装置において、特定波長のみを透過するフィルターから出射した光を光源とするノマルスキー光学系と、前記ノマルスキー光学系を透過した前記試料の反射光から、互いに90度ずつ位相のずれた3つ以上の干渉信号を生成する検出光学系と、前記検出光学系の出力から干渉強度中の直流成分を除去して干渉縞の位相変化量をカウントする計数手段と、を有することを特徴とする形状測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/24 , G01B 9/02 , G01B 11/22

FI (3件)：

G01B 11/24 D , G01B 9/02 , G01B 11/22 G

前のページに戻る