特許

J-GLOBAL ID：200903002447201176

加速度センサとその製造方法

発明者： 請地 光雄
出願人/特許権者： 日本航空電子工業株式会社
代理人 (1件)： 草野 卓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-158676
公開番号（公開出願番号）：特開平5-005749
出願日： 1991年06月28日
公開日（公表日）： 1993年01月14日
要約：

【要約】【目的】 広範囲の製造設備を不要とし、製造コストを低下させる。【構成】 セラミック基板より成るベース5上に第1電極2を印刷し、その上に多層の圧電セラミックスブロック1を印刷により作製し、その上に第2電極3を印刷し、その上に多層のおもり4を印刷により作製する。第1、第2電極2,3間に高電界を印加して圧電セラミックスブロック1を分極させる。

請求項（抜粋）：

セラミック基板より成るベース部上に導体ペーストを印刷、焼成して第1電極を形成し、その第1電極上に、圧電体ペーストを所定回数印刷、焼成して、圧電セラミックスブロックを形成し、その圧電セラミックスブロック上に導体ペーストを印刷、焼成して第2電極を形成し、その第2電極上に金属又は非金属のペーストを所定回数印刷、焼成して、おもりを形成し、前記第1、第2電極間に高電界を印加して、前記圧電セラミックスブロックを分極させることを特徴とする、加速度センサの製造方法。