特許
J-GLOBAL ID:200903002455072334
放射線検出素子用CdTe結晶およびその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
荒船 博司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-134657
公開番号(公開出願番号):特開平6-345598
出願日: 1993年06月04日
公開日(公表日): 1994年12月20日
要約:
【要約】【構成】 塩素が微量に添加されたCdTe結晶インゴットもしくはその結晶インゴットから切り出されたウェーハを、250°C以上450°C以下の温度下に少なくも20時間保持される熱処理を行なうようにした。【効果】 キャリア移動度μとキャリアの寿命τとの積μτが2.0×10-3cm2/V以上であるCdTe結晶が得られるとともに、そのようなCdTe結晶を放射線検出素子用として使用するため、X線照射開始後長時間にわたって出力が安定な素子が得られる。
請求項1:
キャリア移動度μとキャリアの寿命τとの積μτが2.0×10-3cm2/V以上であることを特徴とする放射線検出素子用CdTe結晶。
IPC (3件):
C30B 29/48
, C30B 33/02
, G01T 1/20
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