特許

J-GLOBAL ID：200903002462808834

搬送装置

発明者： 中原 兼文 ,  西方 昭雄 ,  遠藤 豊
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-311518
公開番号（公開出願番号）：特開平10-154646
出願日： 1996年11月22日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：

【要約】【課題】 原板収納容器内における原板の有無や、その収納位置の検出、並びに収納容器の種類の判別を自動的に行い、搬送ミスなく自動搬送を行う。【解決手段】 一枚もしくは複数枚のレチクルRを収納可能な収納容器30,35を半導体製造装置内に配設し、この収納容器内におけるレチクルRの有無およびその位置をレチクル収納判別センサ15により検出(判別)し、この判別結果に基づいてレチクル搬送系50によるレチクルRの搬送を制御し、半導体製造装置内における収納容器内へのレチクルの出し入れおよび搬送を行う。このように、収納容器30,35内のレチクルRの有無および位置がレチクル収納判別センサ15により検出されるため、間違いのない確実なレチクルの自動搬送が可能である。

請求項（抜粋）：

原板を収納可能な原板収納容器と、前記原板を用いて所定の処理を施す処理装置との間で前記原板を搬送する搬送装置において、前記原板収納容器に収納されている前記原板の端面を検出する端面検出手段を備えたことを特徴とする搬送装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

H01L 21/30 502 J ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/30 503 D ,  H01L 21/30 514 D