特許
J-GLOBAL ID:200903002464941230

搬送装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 末成 幹生
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-312966
公開番号(公開出願番号):特開2000-141254
出願日: 1998年11月04日
公開日(公表日): 2000年05月23日
要約:
【要約】【課題】 アームが構成するリンクに負荷をかけずに思案点をスムーズに通過させ、また、エンドエフェクタ等の支持手段の姿勢を安定させて円滑な搬送を行う。【解決手段】 第2アーム36の回動軸46、リンク軸47,48によって三角形状が形成され、エンドエフェクタ45の姿勢はリジッドに保持される。第2アーム36の先端位置に狂いが生じると、リンクプレート49が回動して第2アーム36の先端が移動するので、第1、第2アーム33,36等の結合部に過負荷が生じることがない。
請求項(抜粋):
駆動部に一対の第1アームを回動自在に設け、各第1アームの先端部に第2アームを回動自在に設けるとともに、各第2アームの先端部に被搬送物を支持する支持手段を回動自在に設けることでパンタグラフ状とし、上記駆動部によって上記第1、第2アームを回動させるようにした搬送装置において、上記第2アームの一方の先端部は、基端部が上記支持手段に回動自在に支持されたリンクの先端部に回動自在に支持され、かつ、上記各第2アームの先端部および上記リンクの基端部が三角形をなすように配置されることにより、他方の第2アームの先端部に対して所定範囲接近離間可能に設けられていることを特徴とする搬送装置。
IPC (2件):
B25J 9/06 ,  H01L 21/68
FI (2件):
B25J 9/06 E ,  H01L 21/68 A
Fターム (6件):
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031GA03 ,  5F031GA44 ,  5F031LA07 ,  5F031LA13

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