特許
J-GLOBAL ID：200903002475974890

軟磁性ターゲット材

発明者：
柳谷 彰彦

柳谷 彰彦 について

, 
相川 芳和

相川 芳和 について


出願人/特許権者：
山陽特殊製鋼株式会社

山陽特殊製鋼株式会社 について


代理人 (1件)： 椎名 彊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-112504
公開番号（公開出願番号）：特開2007-284741
出願日： 2006年04月14日
公開日（公表日）： 2007年11月01日
要約：
【課題】 本発明は、軟磁性薄膜を形成するためのFe-Co系またはFe-Ni系ターゲット材を提供する。【解決手段】 Fe-Co系合金において、Fe:Coのat比が100:0〜20:80とし、かつ、AlまたはCrの1種または2種を0.2〜5at%含有させてなる軟磁性ターゲット材。また、Fe-Ni系合金において、Fe:Niのat比が100:0〜20:80とし、かつ、AlまたはCrの1種または2種を0.2〜5at%含有させてなる軟磁性ターゲット材。さらに、上記にB,Nb、Zr,Ta,Hf,Ti,Vのいずれか1種または2種以上を30at%以下、かつ、AlまたはCrの1種または2種を0.2〜5at%含有させてなる軟磁性ターゲット材。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
Fe-Co系合金において、Fe:Coのat比が100:0〜20:80とし、かつ、AlまたはCrの1種または2種を0.2〜5at%含有させてなることを特徴とする軟磁性ターゲット材。
IPC (7件)：
C22C 38/00 ,  C23C 14/34 ,  C22C 1/04 ,  C22C 19/03 ,  C22C 19/07 ,  H01F 1/14 ,  G11B 5/667
FI (7件)：
C22C38/00 303S ,  C23C14/34 A ,  C22C1/04 F ,  C22C19/03 E ,  C22C19/07 C ,  H01F1/14 Z ,  G11B5/667
Fターム (24件)：
4K018AA08 ,  4K018AA10 ,  4K018AA25 ,  4K018BA19 ,  4K018BD01 ,  4K018EA16 ,  4K018KA29 ,  4K018KA43 ,  4K029DC04 ,  4K029DC08 ,  4K029DC09 ,  5D006CA03 ,  5D006CA04 ,  5D006CA05 ,  5D006EA03 ,  5D006FA00 ,  5D112AA04 ,  5D112BD03 ,  5D112BD05 ,  5D112BD08 ,  5D112FB06 ,  5E041AA05 ,  5E041AA07 ,  5E041NN01
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)

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