特許

J-GLOBAL ID：200903002477226319

照明光学系

発明者： 渋谷 眞人 ,  市原 裕 ,  後藤 明弘
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-239789
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062710
出願日： 1996年08月22日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 コヒーレンスの高い光源に対しても、構成を大型化することなく、所望の空間的コヒーレンスで照度むらの少ない照明が可能な照明光学系の提供。【解決手段】 空間的にコヒーレントでほぼ平行な光を供給するための光源1手段と、光源手段からの光を複数の光に分割し、該分割された複数の光のうち任意に選択された2つの光に対して光の可干渉距離以上の光路差を付与するための光路差発生手段2と、光路差発生手段を介した複数の光の各々に基づいて複数の光源像を形成するためのフライアイレンズ5と、フライアイレンズに対する複数の光の入射角度を変化させるための走査手段とを備えている。

請求項（抜粋）：

空間的にコヒーレントでほぼ平行な光を供給するための光源手段と、前記光源手段からの光を複数の光に分割し、該分割された複数の光のうち任意に選択された2つの光に対して前記光の可干渉距離以上の光路差を付与するための光路差発生手段と、前記光路差発生手段を介した前記複数の光の各々に基づいて複数の光源像を形成するため、前記光路差発生手段を構成する1個のエレメントに対して複数個のエレメントが対応するように構成されたフライアイレンズと、前記複数の光の各々に基づいて形成された前記複数の光源像からの光束を集光して被照射面を重畳的に照明するためのコンデンサー光学系と、前記フライアイレンズに対する前記複数の光の入射角度を変化させるための走査手段とを備えていることを特徴とする照明光学系。

IPC (4件)：

G02B 27/00 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G02B 27/00 V ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D