特許
J-GLOBAL ID：200903002477757950
ウィグラーの磁場調整機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-358895
公開番号（公開出願番号）：特開平5-182788
出願日： 1991年12月27日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：
【要約】【構成】 本発明のウィグラーの磁場調整機構は、電子ビームの軌道22を挾んで磁化方向が周期的に変化する磁石23を対向配置して、前記電子ビームに対して周期磁場を与えるウィグラーにおいて、前記磁石23の前記電子ビームの軌道22から遠い側24に、磁極の対向方向に移動自在に磁性体25を配置してなることを特徴とする。【効果】 磁石内の磁束を変化させることができ、磁場の強さを調整することができる。したがって、従来の様に個々の調整部材の厚み等を様々に変更して調整する必要がなくなり、調整操作が容易になる。また、必要に応じて適正な磁界の強さの磁性体を選択すれば、磁場の段階的な調整を行うことができ、広い調整範囲でかつ高精度に磁場の調整を行うことができる。
請求項（抜粋）：
電子ビームの軌道を挾んで磁化方向が周期的に変化する磁石を対向配置して、前記電子ビームに対して周期磁場を与えるウィグラーにおいて、前記磁石の前記電子ビームの軌道から遠い側に、磁極の対向方向に移動自在に磁性体を配置してなることを特徴とするウィグラーの磁場調整機構。
IPC (5件)：
H05H 7/04
, G21K 1/093
, H01F 7/20
, H01L 21/027
, H05H 13/04
