特許
J-GLOBAL ID:200903002496239073

電子部品の観察装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小鍜治 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-306710
公開番号(公開出願番号):特開平6-164200
出願日: 1992年11月17日
公開日(公表日): 1994年06月10日
要約:
【要約】【目的】 移載ヘッドのノズルに真空吸着されたチップ全体のシルエットをカメラで明瞭に観察できる観察装置を提供する。【構成】 移載ヘッド1の移動路にノズル2が通過する間隔Gをあけて配置された左右一対の背影板25、31と、移載ヘッド1の下部に設けられた光拡散体38と前記背影板25、31の間に配置されて光拡散体38と背影板25、31へ向って照明光を照射する光源39を構成した。【効果】 光拡散体38で散乱された散乱光は背影板25、31の間から漏光するので、チップPの背景はすべて明るく観察され、チップP全体の黒いシルエットを明瞭に観察できる。
請求項(抜粋):
電子部品を真空吸着するノズルを備え、電子部品をこのノズルに真空吸着して基板に移送搭載する移載ヘッドと、この移載ヘッドの移動路にノズルが通過する間隔をあけて配置された左右一対の背影板と、前記移載ヘッドの下部に設けられた光拡散体と前記背影板の間に配置されてこの光拡散体と背影板へ向って照明光を照射する光源と、前記電子部品を下方から観察するカメラとを備えたことを特徴とする電子部品の観察装置。
IPC (3件):
H05K 13/08 ,  B23P 19/00 303 ,  H05K 13/04

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