特許
J-GLOBAL ID:200903002498395609

円柱面の変位および歪みの測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-165890
公開番号(公開出願番号):特開平6-185992
出願日: 1992年06月24日
公開日(公表日): 1994年07月08日
要約:
【要約】【構成】円柱面を有する試験片5の一部に照射するためのレーザービーム源4よりレーザービームを照射し、その円柱面から反射するレーザービームのスペックルをセンサ7〜10にて検知しその移動量をスペックル相関計11により求め、一対のセンサ部により検知されたスペックル移動量の和により、円柱面の変位量を測定し、その変位量から歪み量を算出する。【効果】円柱面の被測定体の変位量および歪み量を非接触にて高い精度で測定することができる。これにより、セラミックス等の特性の評価をより正確に行うことができる。
請求項(抜粋):
円柱面の一部にレーザービームを照射するためのレーザービーム源と、前記円柱面から反射するレーザービームのスペックルを検知しその移動量を検知するための少なくとも一対のセンサ部とを備え、前記一対のセンサ部により検知されたスペックル移動量の和により、円柱面の変位量を測定し、該変位量から歪み量を算出することを特徴とする円柱面の変位および歪みの測定方法。
IPC (2件):
G01B 11/16 ,  G01B 11/00

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