特許

J-GLOBAL ID：200903002502830790

圧電アクチュエータ及びこれを用いたインクジェットヘッド

発明者： 中野 貴徳 ,  松尾 浩之
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-107885
公開番号（公開出願番号）：特開2000-299511
出願日： 1999年04月15日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：

【要約】【課題】 基板の材料に制限されずに高い圧電特性をもつ圧電アクチュエータを作製することを目的とする。【解決手段】 振動板11上に共通電極12、圧電膜13、上部電極14の順に積層したものを設け、共通電極12には、メッキ法を用いてメッキ膜を形成する。このメッキ膜は結晶質からなり、かつ、少なくとも一つの結晶面に優先配向させて形成する。

請求項（抜粋）：

振動板上に配設された共通電極と、前記共通電極上に積層された圧電膜と、前記圧電膜上に積層された上部電極からなる圧電アクチュエータにおいて、前記共通電極の少なくとも一部がメッキ法によって製作されたメッキ膜を有するものであり、前記メッキ膜は結晶質からなり、かつ、少なくとも一つの結晶面に優先配向して形成される圧電アクチュエータ。

IPC (3件)：

H01L 41/09 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/187

FI (3件)：

H01L 41/08 L ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/18 101 D

Fターム (16件)：

2C057AF51 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG44 ,  2C057AG55 ,  2C057AG92 ,  2C057AG93 ,  2C057AG94 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP25 ,  2C057AP31 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057AP55 ,  2C057BA14