特許
J-GLOBAL ID：200903002503884869
角速度センサ装置及びその調整方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
佐藤 強
, 小川 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-090970
公開番号（公開出願番号）：特開2004-294405
出願日： 2003年03月28日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：
【課題】角速度センサ装置において、駆動電極からモニタ電極に入り込む回り込み信号が、錘部の振動駆動に与える影響を減少させる。【解決手段】錘部(8)を第1の方向(X)に振動させるために駆動電極に印加する互いに逆相関係にある第1、第2の駆動信号の何れかを選択することのできるスイッチ(S1)と、該スイッチで選択した駆動信号の大きさを加減して、錘部の振動状況を反映するモニタ信号に加算する加算回路(29)を新たに設け、該加算回路の出力信号中に現れる回り込み信号成分を最小に調整して、第1、第2の駆動信号を生成する自励発振回路にフィードバック信号として供給する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
第1のシリコン基板(2)上に酸化膜(3)を介して第2のシリコン基板(4)を貼り合わせてなるSOI基板(5)を有し、前記第2のシリコン基板には、第1の方向(X方向)及びこの第1の方向と直交する第2の方向(Y方向)へ振動可能な錘部(8)と、該錘部を前記第1の方向へ振動させるための駆動電圧を印加する1対の駆動電極(D1、D2)と、前記錘部の前記第1の方向への振動をモニタするための1対のモニタ電極(M1、M2)と、前記振動のもと前記第1及び第2の方向と直交する軸(Z軸)回りに角速度が加わったときに発生する前記錘部の前記第2の方向への振動を検出するための検出電極(17a、17b)と、が形成されている角速度センサ(1)と、
前記1対の駆動電極に印加する互いに逆相関係にある第1、第2の駆動電圧(Vd1、Vd2)を発生する自励発振回路(27)と、
前記1対のモニタ電極の各電極と前記錘部とにより形成されるキャパシタ(Cm1、Cm2)に所定の直流電圧を印加し、流れる電流を検出して該キャパシタの静電容量に比例する電圧を生成する一対のC/V変換回路(31、32)と、
該一対のC/V変換回路の出力電圧の差電圧を演算して前記自励発振回路にフィードバック信号(Vf)として供給する差動増幅回路(Q1)と、
を備えた角速度センサ装置において、
前記第1、第2の駆動信号の何れかを選択することのできるスイッチ(S1)と、該スイッチで選択した駆動信号の大きさを加減して前記差動増幅回路(Q1)の出力する前記差電圧に加算する加算回路(29)とを新たに設け、該加算回路の出力信号を前記フィードバック信号として前記自励発振回路に供給するようにしたことを特徴とする角速度センサ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
2F105BB02
, 2F105BB03
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD11
