特許
J-GLOBAL ID:200903002504772592

熱線型半導体式センサとその使用方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 北村 修
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-318123
公開番号(公開出願番号):特開平6-167471
出願日: 1992年11月27日
公開日(公表日): 1994年06月14日
要約:
【要約】【目的】 熱線型半導体式センサにおいて消費電力をさらに小さくして、長時間に渡って電池駆動で働くことが可能な熱線型半導体式センサを得るとともに、低電力消費型の使用方法を得るものである。【構成】 センサの線状抵抗体の線径を5〜15μm、コイルの巻き数を3〜10、ガス感応部の表面積Sを0.005〜0.2mm2に設定するとともに、ガス感応部の表面積をSmm2とした場合に、リード線部の平均長さ(L)を0.2mm以上、0.948+2.16S-3.89S2mm以下に設定してセンサを構成し、または、線状抵抗体の線径、コイルの巻き数、ガス感応部の表面積(S)が上記の要件を満足するセンサにおいて、リード線部の平均長さ(L)を、上記の条件を満たしながら使用する。
請求項(抜粋):
白金もしくは白金合金線である線状抵抗体(4)でコイルを形成し、前記コイルの周部に酸化物半導体(5)を配設したガス感応部(2)と、前記ガス感応部(2)の外部に前記線状抵抗体(4)の両端側部位を延出させたリード線部(3),(3’)を備えた2端子型で、前記リード線部(3),(3’)の両端が各別に室温部(6)に接続されて使用される熱線型半導体式センサであって、前記線状抵抗体(4)の線径を5〜15μm前記コイルの巻き数を3〜10前記ガス感応部(2)の表面積(S)を0.005〜0.2mm2に設定するとともに、前記ガス感応部(2)の表面積をSmm2とした場合に、前記リード線部(3),(3’)の平均長さ(L)を0.2mm以上、0.948+2.16S-3.89S2mm以下に設定した熱線型半導体式センサ。

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