波長測定装置及び方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：猪熊克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-127929
公開番号（公開出願番号）：特開平10-300587
出願日： 1997年04月30日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：

【要約】【課題】エキシマレーザーなどの発振波長に不安定さがある光源の波長変動量及び絶対波長を高精度で測定する波長測定装置及び方法を提供する。【解決手段】光源からの被検光を拡散板で拡散してエタロンに入射させ、エタロンを透過した被検光を集光レンズに入射させ、集光レンズで被検光を焦点面に集光させて、焦点面に生じる干渉縞をラインセンサで検出し、干渉縞のピーク位置と次数の関係を2次関数によってフィッティングし、2次関数の極値の変動量から被検光の波長変動量を計算する波長測定装置及び方法である。また、被検光と基準光とを入射させて被検光の極値と基準光の極値とに基づいて被検光の絶対波長を計算する波長測定装置及び方法である。

請求項（抜粋）：

光源からの被検光を拡散板で拡散してエタロンに入射させ、該エタロンを透過した前記被検光を集光レンズに入射させ、該集光レンズで前記被検光を焦点面に集光させて、該焦点面に生じる干渉縞をラインセンサで検出することにより、前記被検光の波長変動量を測定する波長測定装置において、前記干渉縞のピーク位置と次数の関係を2次関数によってフィッティングし、該2次関数の極値の変動量に基づいて前記被検光の波長変動量を求める処理装置を有することを特徴とする波長測定装置。

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