特許

J-GLOBAL ID：200903002507653977

露光装置

発明者： 梶原 忠之 ,  井嶋 喜明
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-077017
公開番号（公開出願番号）：特開平10-268219
出願日： 1997年03月28日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】 露光装置内のポリゴンミラーとfθレンズの距離を変える必要がなく、かつカバーする部材を省略できて、コンパクトな露光装置を提供することを目的とする。【解決手段】 コンパクトな露光装置を提供するため、画像データを光変調する半導体レーザと、高速に回転するポリゴンモータ31と、ポリゴンモータ31の軸上に配置され、変調されたレーザ光を走査するポリゴンミラー32と、走査されたレーザ光を所定のレーザ光のビーム径に絞り込むfθレンズ35と、レーザ光を所定の角度に折り返す折り返しミラー34を有し、折り返しミラー34をポリゴンミラー32とfθレンズ35間の光路に配置し、露光装置のハウジング37によりポリゴンモータ31及びポリゴンミラー32をカバーし、カバー部にfθレンズ35を配置する。

請求項（抜粋）：

ハウジングと、画像データを光変調する半導体レーザと、高速に回転するポリゴンモータと、前記ポリゴンモータの軸上に配置され、変調されたレーザ光を走査するポリゴンミラーと、走査されたレーザ光を所定のレーザ光のビーム径に絞り込むfθレンズと、レーザ光を所定の角度に折り返す折り返しミラーを有し、前記折り返しミラーを前記ポリゴンミラーと前記fθレンズ間の走査光路に配置したことを特徴する露光装置。

IPC (3件)：

G02B 26/10 ,  G02B 26/10 102 ,  H04N 1/113

FI (3件)：

G02B 26/10 F ,  G02B 26/10 102 ,  H04N 1/04 104 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-335316
  
• 特開平1-251058
  
• 特開平4-335316
  
• 特開平1-251058