特許
J-GLOBAL ID：200903002513906089

基板収納トレイ用パレットおよび基板移載システム

発明者：
吉澤 武徳

吉澤 武徳 について

, 
谷口 英男

谷口 英男 について

, 
柴田 浩人

柴田 浩人 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について

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サイデック株式会社

サイデック株式会社 について


代理人 (3件)： 山本 秀策 ,  安村 高明 ,  大塩 竹志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-336499
公開番号（公開出願番号）：特開2005-104475
出願日： 2003年09月26日
公開日（公表日）： 2005年04月21日
要約：
【課題】それぞれに1枚の基板が収納された多数の基板収納トレイから基板を効率よく取り出す。【解決手段】基板収納トレイ用パレットAは、ガラス基板が水平状態で載置される基板収納トレイを上下方向に積み重ねた状態で輸送するために使用される。基板収納トレイは、底部に、基板を上方に持ち上げるための基板取出し具が挿入される開口部が設けられている。基板収納トレイ用パレットAは、パレット本体上にシャッター体80が設けられており、シャッター体80には、上面に載置された基板収納トレイの開口部に対向して、基板取出し具34が挿入されるシャッター体開口部81x〜81zが形成されている。シャッター体開口部81x〜81zは、シャッター部材84x〜84zによってそれぞれ開閉される。【選択図】 図7
請求項１：
基板が水平状態で載置され該基板を上方に持ち上げるための基板取出し具が挿入される開口部が設けられ、上下方向に積み重ね可能に形成された基板収納トレイを搬送するために使用される基板収納トレイ用パレットであって、 前記基板収納トレイが上面に載置されるようになっており、載置された基板収納トレイの開口部に対向して、前記基板取出し具が挿入される基板取出し具挿入用開口部が形成されている、基板収納トレイ用パレット。
IPC (5件)：
B65D85/86 ,  B65D19/44 ,  B65G49/06 ,  B65G59/06 ,  H01L21/68
FI (6件)：
B65D85/38 K ,  B65D19/44 D ,  B65G49/06 Z ,  B65G59/06 101Z ,  H01L21/68 A ,  H01L21/68 U
Fターム (45件)：
3E063AA23 ,  3E096AA01 ,  3E096AA15 ,  3E096BA20 ,  3E096BA24 ,  3E096BB05 ,  3E096CA06 ,  3E096CA21 ,  3E096CB02 ,  3E096DA04 ,  3E096DA18 ,  3E096DB06 ,  3E096DC02 ,  3E096EA03X ,  3E096EA06Y ,  3E096FA03 ,  3E096FA16 ,  3E096FA19 ,  3E096FA22 ,  3E096FA28 ,  3E096GA05 ,  3F030AA04 ,  3F030AB04 ,  5F031CA05 ,  5F031DA13 ,  5F031DA20 ,  5F031EA02 ,  5F031EA19 ,  5F031EA20 ,  5F031FA02 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA14 ,  5F031GA08 ,  5F031GA14 ,  5F031GA15 ,  5F031GA35 ,  5F031GA53 ,  5F031GA55 ,  5F031KA20 ,  5F031LA12 ,  5F031LA15 ,  5F031PA18
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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