特許
J-GLOBAL ID：200903002521770919
半導体装置の検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷 義一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-145733
公開番号（公開出願番号）：特開平5-340733
出願日： 1992年06月05日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：
【要約】【目的】 一回の画像入力で1個の半導体装置の検査を行い、データ処理時間を短くし、高速処理を行う。【構成】 検査すべき半導体装置1を設置する設置台2の、半導体装置1が設置される周辺に光反射手段5が設けられている。撮像手段3によって半導体装置1を撮像し、その画像信号が画像認識手段4に入力され、半導体装置の不良が認識される。
請求項（抜粋）：
検査すべき半導体装置を設置する設置台と、該半導体装置を撮像する撮像手段と、該撮像手段によって得られた画像信号によって前記半導体装置の不良を認識する画像認識手段とを具備する半導体装置の検査装置において、前記設置台には前記半導体装置が設置される周辺に光反射手段を具備したことを特徴とする半導体装置の検査装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01N 21/88
, H01L 21/66
