特許
J-GLOBAL ID：200903002524005067
電気特性測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-129785
公開番号（公開出願番号）：特開平6-342010
出願日： 1993年05月31日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：
【要約】【目的】 安定性及び再現性に優れ、且つ深さ方向分解能の向上が図られた電気特性の測定方法を提供する。【構成】 試料1の主面1aを研磨角θで角度研磨してなる傾斜面1bに対し、探針5a,5bを送り幅aで相対的に移動させながら逐次接触させて拡がり抵抗を測定するに際し、上記探針5a,5bの移動方向Fを上記試料1の主面1aと傾斜面1bとがなす稜Eに対して方位角φなる角度に設定する。
請求項（抜粋）：
試料の主面の一部を角度研磨してなる傾斜面に対し、探針を所定の直線方向に沿って相対的に移動させながら逐次接触させることにより、該試料の電気特性を測定する電気特性測定方法において、上記探針を上記試料の主面と傾斜面とがなす稜に対して斜め方向に相対的に移動させることを特徴とする電気特性測定方法。
IPC (2件)：
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