特許
J-GLOBAL ID:200903002525427470

赤外線光源及び赤外線光源を用いたガス濃度検出器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 佐藤 成示 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-101234
公開番号(公開出願番号):特開平10-294165
出願日: 1997年04月18日
公開日(公表日): 1998年11月04日
要約:
【要約】【課題】 高価な赤外線フィルタを用いることなく、放射される赤外線に対して必要とする波長を選択的に取り出す波長選択性を有する赤外線光源を提供する。【解決手段】 シリコン基板1と、シリコン基板1にマイクロブリッジにより形成されるフィラメント2と、フィラメント2に電流を流すための電極4とを備えた赤外線光源において、放射させようとする赤外線の波長をλとした際、λ/4の整数倍の膜厚を持つ屈折率の異なる薄膜を積層した多層反射膜6をフィラメント2下方に設けるようにした。
請求項(抜粋):
シリコン基板と、該シリコン基板にマイクロブリッジにより形成されるフィラメントと、該フィラメントに電流を流すための電極とを備えた赤外線光源において、放射させようとする赤外線の波長をλとした際、λ/4の整数倍の膜厚を持つ屈折率の異なる薄膜を積層した多層反射膜を前記フィラメント下方に設けるようにしたことを特徴とする赤外線光源。
IPC (4件):
H05B 3/10 ,  G01N 21/01 ,  G01N 21/35 ,  H01K 7/00
FI (4件):
H05B 3/10 B ,  G01N 21/01 D ,  G01N 21/35 Z ,  H01K 7/00 B
引用特許:
出願人引用 (4件)
  • 電気的に調節可能な熱放射源
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-157971   出願人:インストルメンタリウムオイ, ヴァイサラオイ
  • 特開昭62-149181
  • 特開平2-186327
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審査官引用 (4件)
  • 電気的に調節可能な熱放射源
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-157971   出願人:インストルメンタリウムオイ, ヴァイサラオイ
  • 特開昭62-149181
  • 特開平2-186327
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