特許

J-GLOBAL ID：200903002526743294

板状物搬送装置およびそれを使用した板状物処理装置

発明者： 山上 孝
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立東京エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-113563
公開番号（公開出願番号）：特開平8-288362
出願日： 1995年04月14日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【目的】 ウエハを立てて搬送および処理するウエハ搬送装置およびウエハ処理装置の提供。【構成】 ウエハ搬送装置10は移動台13に一端が支持されたパンタグラフ装置14で移動台13に対し進退される保持台15を備え、保持台15はウエハ1を立てた状態で保持する。ウエハ処理装置5は移動台13周りに配された各処理部21、22、41、42、61、62を備え、各処理部はウエハ1を立てた状態で処理する。移動台13は各処理部の待機位置に移動し、保持台15はパンタグラフ装置14で処理部と移動台との間を往復移動される。【効果】 ウエハを立てて搬送かつ処理することで、ウエハ搬送装置、ウエハ処理装置の占有床面積を抑制できる。立った状態のウエハはダウンフローに対して平行になるため、ダウンフローによるウエハへの塵埃付着を抑制できる。

請求項（抜粋）：

移動台に一端が支持されたパンタグラフ装置によって移動台に対して進退される保持台を備えており、保持台は板状物を立てた状態で保持するように構成されていることを特徴とする板状物搬送装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 N ,  B65G 49/07 E ,  H01L 21/30 569 D