特許
J-GLOBAL ID：200903002526825940

真空処理装置

発明者：
山下 雄士

山下 雄士 について


出願人/特許権者：
関西日本電気株式会社

関西日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 徳丸 達雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-426156
公開番号（公開出願番号）：特開2005-183865
出願日： 2003年12月24日
公開日（公表日）： 2005年07月07日
要約：
【課題】 APCバルブの動作不良による製品の品質及び歩留りの低下を防止するとともに、APCバルブへの副生成物の付着を早期に発見し、そのメンテナンス時期を的確に把握できる機能を備えた真空処理装置を提供する。 【解決手段】 本発明の真空処理装置1の真空チャンバ2には、真空度を監視するバラトロンゲージやピラニーゲージ等からなる真空計13が設けられ、真空計13が検出した真空度はAPC14に入力される。APC14は検出された真空度に基づき、第1APCバルブ11の開閉弁11aの開度を制御して真空チャンバ2内が所定の真空度になるよう調整する。さらに、排気管9の第1APCバルブ11の下流側に、新たに第2APCバルブ15とメインバルブ16が設けられている。また、第1APCバルブ11と第2APCバルブ15は、バタフライバルブ等からなり共にAPC14により切替え可能になっている。【選択図】 図1
請求項１：
真空計とAPCとAPCバルブを用いて真空チャンバ内の真空度を自動的に制御しながら、被処理体に所定の処理を施す真空処理装置において、前記真空チャンバと前記真空ポンプの間に直列に接続した複数のAPCバルブを設け、前記複数のAPCバルブをAPCにより切替え可能にしたことを特徴とする真空処理装置。
IPC (4件)：
H01L21/205 ,  B01J3/00 ,  B01J3/02 ,  C23C16/44
FI (4件)：
H01L21/205 ,  B01J3/00 J ,  B01J3/02 L ,  C23C16/44 J
Fターム (8件)：
4K030FA03 ,  4K030KA45 ,  5F045BB20 ,  5F045EB05 ,  5F045EG02 ,  5F045EG06 ,  5F045GB06 ,  5F045GB16
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (6件)
  • 真空処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-272099   出願人：セイコーエプソン株式会社
  • 特開平4-349195
  • 排気系の圧力異常検出装置とその検出方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-000158   出願人：日本鋼管株式会社
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