特許

J-GLOBAL ID：200903002528124303

フレキシブルクリーンルーム

発明者： 山本 英幸 ,  金内 信孝
出願人/特許権者： 新日本空調株式会社
代理人 (1件)： 永井 義久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-298067
公開番号（公開出願番号）：特開平7-151367
出願日： 1993年11月29日
公開日（公表日）： 1995年06月13日
要約：

【要約】【目的】自由に清浄度クラスおよびレイアウトの変更が可能なクリーンルームとする。【構成】室内の天井部分に配設されたダクトD、D...の下面側にダクト長手方向に沿って連続した開口を形成し、これら各ダクトDの下面側に、ファンおよび高性能フィルターを内蔵した複数のファンフィルターユニット2、2...を前記ダクトDの一部をレールとしてダクト長手方向に移動自在に取り付け、前記各ファンフィルターユニット2、2...を所定の間隔で位置決めした後、ファンフィルターユニット配置部以外の前記ダクト開口部分を閉鎖板25で塞ぐ。

請求項（抜粋）：

室内の天井部分に配設された複数のダクト部材の下面側にダクト長手方向に沿って連続した開口を形成し、これら各ダクト部材の下面側に、ケーシング内にファンおよび高性能フィルターを内蔵した複数のファンフィルターユニットを前記ダクト部材の一部をレールとしてダクト長手方向に移動自在に取り付け、前記各ファンフィルターユニットを所定の間隔で位置決めした後、ファンフィルターユニット配置部以外の前記ダクト開口部分を閉鎖板で塞いだことを特徴とするフレキシブルクリーンルーム。