特許
J-GLOBAL ID:200903002530958319
液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
栗原 浩之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-321082
公開番号(公開出願番号):特開2004-154987
出願日: 2002年11月05日
公開日(公表日): 2004年06月03日
要約:
【課題】インク吐出特性を良好に保持できると共に安定したインク吐出特性を得ることができ、且つ圧電素子を高密度に配列することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。【解決手段】下電極60が圧力発生室12の長手方向端部近傍でパターニングされて、各圧力発生室12に対向する領域に圧電素子300の実質的に駆動部である圧電体能動部320が形成されると共に圧電素子の個別電極である上電極80から端子部120まで引き出される引き出し配線110を有し、圧電体能動部320を覆うことなく設けられた絶縁膜130によって各引き出し配線110の一部を連続的に覆い、且つ圧電素子300の共通電極である下電極60から端子部120まで延設されるバイパス配線140の少なくとも一部が絶縁膜130上に形成する。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側の領域に振動板を介して設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備する液体噴射ヘッドにおいて、
前記下電極が前記圧力発生室の長手方向端部近傍でパターニングされて、各圧力発生室に対向する領域に前記圧電素子の実質的に駆動部である圧電体能動部が形成されると共に前記圧電素子の個別電極である前記上電極から端子部まで引き出される引き出し配線を有し、前記圧電体能動部を覆うことなく設けられた絶縁膜によって各引き出し配線の一部が連続的に覆われ、且つ前記圧電素子の共通電極である前記下電極から前記端子部まで延設されるバイパス配線の少なくとも一部が前記絶縁膜上に延設されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
IPC (3件):
B41J2/045
, B41J2/055
, B41J2/16
FI (2件):
B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
Fターム (14件):
2C057AF37
, 2C057AF83
, 2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AG39
, 2C057AG44
, 2C057AG75
, 2C057AG92
, 2C057AG93
, 2C057AP02
, 2C057AP34
, 2C057AQ02
, 2C057BA03
, 2C057BA14
引用特許:
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